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一、引言 在集成电路生产过程中, WET 湿法工艺主要是指使用超纯水及超纯酸碱,有机等化学药液, 完成对晶圆的清洗刻蚀及光刻胶剥离等工艺 [1] 。伴随着集成电路设计线宽越来越窄,使得集成电路...
本论文介绍了聚四氟乙烯在设备衬里、换热器、离心泵以及密封件、波纹管、隔膜等制品 上的应用。 1、 聚四氟乙烯防腐蚀产品的历史沿革 化工生产厂在一定的温度和压力条件下进行,...
它包括四类关键产品: 第一、超净高纯试剂 超净高纯化学试剂超净高纯化学试剂,亦称湿化学品 , 或加工化学品,是超大规模集成电路制作过程中关键性基础化工材料之一,主要用于芯片...
PFA (全氟烷氧基树脂)详解 氟树脂是部分或全部氢被氟取代的链烷烃聚合物,它们有聚四氟乙烯( PTFE )、全氟(乙烯丙烯)( FEP )共聚物、聚全氟烷氧基( PFA )树脂、聚三氟氯乙烯(...
对太阳能级硅片有借鉴作用 一 . 硅片的化学清洗工艺原理 硅片经过不同工序加工后,其表面已受到严重沾污,一般讲硅片表面沾污大致可分在三类: A. 有机杂质沾污: 可通过有机试剂的溶解作用,结...
1 引言 进 入2005年以来,随着大陆半导体行业的继续发展,300mm芯片生产线在大陆也已开始上马。中芯国际已建一条300mm生产线,在建两条300mm生产 线;华虹NEC在建一...