关于 化学品集中供液系统在湿化学工业设备中的应用

这种情况下必须考虑液体传输的连续性，当管 路系统中夹杂气泡时，流量计测得的流量值就会存 在误差，使得配液比例不精确，从而影响客户工艺。 因此需要借助安装气液分离器来保证管路系统中 传输液体的连续稳定。分配箱通过将运输的液体分流，多点应用，保证各工艺机台的同时在线供液。

2.1 供液泵

供液泵作为动力源，常与阀门、管道、流量计 等组成自动供液系统，用于配液、补液。常用的供 液泵有气动隔膜泵和风囊泵。气动隔膜泵采用压 缩空气作为动力源，对于各种腐蚀性的液体、带颗 粒的液体、高黏度、易挥发、易燃的液体均可输送。 隔膜泵的主要特点是：具有自吸功能，可空转运 行，但没有机械密封，不会产生颗粒及污染，适用 于中高黏度的液体，但液体的脉动性较大。由于隔 膜泵在连续不间断工作时膜片的使用寿命较短， 因此需频繁更换膜片。而风囊泵除具有气动隔膜 泵的主要优点外，因采用全氟材料，耐腐蚀和耐高 温性更强。由于风囊泵是用风囊取代了隔膜泵中 的膜片，更适用于连续不间断运行。输送的液体脉 动较隔膜泵小，使用寿命更长，但成本更高。值得 一提的是，当泵的运输管路在垂直方向含有落差 时，泵的选型需格外注意。与在水平方向不同，因 为在垂直方向上，泵需要克服液体的重力将液体 输送到所需高度，因此泵的扬程要满足要求。

2.2 流量计

流量计可以用来测量液体、气（汽）体和固体 （冲量流量计），以满足过程控制和计量的需要。在 湿化学工业设备中经常作为一种计量工具广泛应 用到溶液的配比、补液等环节中。例如 SPM 溶液， 其组成成分一般按比例分为 5∶1∶1 （H2SO4∶ H2O2∶H2O）和 2∶1（H2SO4∶H2O2 ）两种；APM 溶液 （NH4OH:H2O2∶H2O） 等，对于这种混合的溶液而 言，各成分的比例就是通过流量计控制的。

2.3 气液分离器

气液分离器就是让混杂的气相液相各自聚合 成股，液滴碰撞聚结，气体除去液滴后上升，从而 达到气液分离的目的。其原理是利用气液比重不 同，在惯性碰撞作用下，当流速降低后，在主流体 转向的过程中，气相中细微的液滴下沉，从而与气 体分离，或利用旋风分离器，气相中细微的液滴被 进口高速气流甩到器壁上，碰撞后失去动能而与 转向气体分离。常采用的分离结构有重力沉降、离 心力分离和超滤分离等。

2.4 分配箱

分配箱 （VMB） 是一种内嵌式多分支液体管 道阀门分配控制箱体。VMB 是易燃且具有腐蚀 性、毒性等危险性液体供应专用组件。它能使液体 从单一来源分配到多点应用 。对于每个使用点, 气压可单独调控, 从而满足个性化需求。另外，供液系统所供应的化学品一般都有很高的纯度要求, 金属离子浓度一般控制在一定的数量级。分 配箱设有采样口，主要目的是可随时监测溶液浓度、成分等物理或化学特性，以满足工艺需求。

本文介绍了化学品集中供液系统（CDS）的组 成以及工作原理，并探讨了集中供液系统中几种 关键结构件的功能，为远距离输送、精确配比等工况下的高效供液打下基础。

（文章来源于中国知网）